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采用磁控交替溅射方法和真空退火处理制备了Zn1-xCrxO薄膜,利用全自动X射线衍射仪和物理性质测量仪对样品的结构、晶粒尺寸及磁性等进行了测量和标度,得到了具有室温磁性的掺Cr的氧化锌基稀磁半导体.
Zn1-xCrxO稀磁半导体薄膜的制备及磁性研究
【摘 要】
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采用磁控交替溅射方法和真空退火处理制备了Zn1-xCrxO薄膜,利用全自动X射线衍射仪和物理性质测量仪对样品的结构、晶粒尺寸及磁性等进行了测量和标度,得到了具有室温磁性的掺
【机 构】
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天津理工大学电子信息与通信工程学院,天津市薄膜电子与通信器件重点实验室
【出 处】
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天津理工大学学报
【发表日期】
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2008年3期
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