【摘 要】
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一种新型PFC快速循环水蒸汽低温泵可使被抽容器获得一个较高的抽气速率,且并不因高真空阀和管接头等零件降低它的极限流导。容器中的额定抽速可以达到70000L/S。其再生时间小
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一种新型PFC快速循环水蒸汽低温泵可使被抽容器获得一个较高的抽气速率,且并不因高真空阀和管接头等零件降低它的极限流导。容器中的额定抽速可以达到70000L/S。其再生时间小于4分钟(包括充分去霜和再次致冷到低温抽气时的温度)。 低温圈(CRYOCOIL)的结构形式如图α—d所示。一
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