【摘 要】
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UHF以上高频高精度声表面波(SAW)器件,是CATV和光通信等新型装置的关键器件.本文主要叙述500—1000MHz SAW器件的高精度频率调整.在制有SAW元件的石英基片上用磁控溅射法沉积
【机 构】
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日·松下电子元件公司中央研究所,日·松下电子元件公司中央研究所
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UHF以上高频高精度声表面波(SAW)器件,是CATV和光通信等新型装置的关键器件.本文主要叙述500—1000MHz SAW器件的高精度频率调整.在制有SAW元件的石英基片上用磁控溅射法沉积一层超薄的SiO_2膜,通过控制膜的厚度和物理性质精确调整SAW器件的工作频率.把紫外光照射到这种超薄膜上,石英基片上的SAW相速发生变化,便能进行频率调整.在UHF频带内调整精度可达±10kHz,而器件的插入损耗的增加在1dB以下.
High-frequency and high-precision surface acoustic wave (SAW) devices above UHF are the key components of CATV and optical communication devices. This paper mainly describes the high-precision frequency adjustment of 500-1000MHz SAW devices. Sputtering deposition of a thin layer of SiO2 film, by controlling the thickness and physical properties of the film accurately adjust the operating frequency of the SAW device.Ultraviolet light is irradiated to this ultra-thin film, the quartz substrate SAW phase velocity changes, The frequency can be adjusted in the UHF band adjustment accuracy up to ± 10kHz, while the device insertion loss increase of 1dB or less.
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