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采用超短法布里—珀罗腔的振动传感器ＮｏｒｉｋａｔｓｕＭｉｏ等超小位移的监测是精密测量中最为热门的话题之一，尤其值得注意的是，目前大量的工作都集中于一种测量宏观体机械振动的传感器的开发上。迄今虽已有多种原理各不相同的传感器问世，但由于光学技术的发展，随...
采用超短法布里—珀罗腔的振动传感器
【摘 要】
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采用超短法布里—珀罗腔的振动传感器ＮｏｒｉｋａｔｓｕＭｉｏ等超小位移的监测是精密测量中最为热门的话题之一，尤其值得注意的是，目前大量的工作都集中于一种测量宏观体机械振动的传感器的开发上。迄
【出 处】
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现代计量测试
【发表日期】
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1995年6期
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