【摘 要】
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本专利提供一种多光谱半导体谐振腔探测器,它至少包括一个谐振腔(2),该谐振腔能在两种以上的波长上谐振。谐振腔至少包括两层膜层(12,14),这两层膜层放在腔体内驻波特有的波
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本专利提供一种多光谱半导体谐振腔探测器,它至少包括一个谐振腔(2),该谐振腔能在两种以上的波长上谐振。谐振腔至少包括两层膜层(12,14),这两层膜层放在腔体内驻波特有的波腹处,它们能够吸收相应的辐射。谐振腔有两个以上P-N结,在P-N结的空间电荷区
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