论文部分内容阅读
该设备采用低电压、大电流、电弧放电技术,在真空环境中制备各种金属膜(如铜、铝、钛等)、氮化物(TiN、TLN)和碳化物(Tic)膜、多层膜和复合膜,使金属表面改性,提高零件的耐磨、耐蚀性,改善表面的疲劳断裂性能等。该技术与设备达到国际先进水平,被国家各部委列入1993年国家级科技重点推广项目。该技术可用于在金属和非金属表面涂镀金属膜和氧化物膜,用于五金工具、卫生洁