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本文报导了在掺半导体玻璃波导上用离子刻蚀的方法制备出了表面刻蚀光栅耦合器。观察到了光栅耦合器的耦合效率随着输入激光功率增加而下降的功率限制作用。
掺半导体玻璃波导光栅耦合器及其功率限制作用
【摘 要】
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本文报导了在掺半导体玻璃波导上用离子刻蚀的方法制备出了表面刻蚀光栅耦合器。观察到了光栅耦合器的耦合效率随着输入激光功率增加而下降的功率限制作用。
【机 构】
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中国科学院长春物理所
【出 处】
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量子电子学
【发表日期】
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1994年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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