【摘 要】
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由于类金刚石碳膜在其硬度、导热性、化学稳定性,以及电学、光学性质等方面的特点,可望在作为保护膜,散热元件,光学薄膜,以至于光电、半导体器件方面有广泛、重要的应用价值
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由于类金刚石碳膜在其硬度、导热性、化学稳定性,以及电学、光学性质等方面的特点,可望在作为保护膜,散热元件,光学薄膜,以至于光电、半导体器件方面有广泛、重要的应用价值。类金刚石碳膜的研制十几年来发展很快,受到人们的重视,目前已开始进入推广应用时期。
Due to their hardness, thermal conductivity, chemical stability, and electrical and optical properties, diamond-like carbon films are expected to have a wide range of importance as protective films, heat-dissipating elements, optical films, and optoelectronic and semiconductor devices The application value. Development of diamond-like carbon film developed rapidly over the past decade, by people’s attention, has now begun to enter the promotion period.
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