水平排列硅光二极管色传感器及其特性

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简要介绍水平排列硅光二极管色传感器的制作工艺,该器件波长在500nm到650nm范围内有一个单调的近于线性的光谱响应。入射光波长为600nm时,入射光强度化五个数量级,测出的波长基本不变,器件波长分辨率、最低入射光强、长时间测量的波长漂移以及波长温漂系数等特性的测量结果表明:该类色传感器已达高性能实用要求。
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