【摘 要】
：
分析了梳齿电容式传感器在三种电容驱动方式下,梳齿电容极板的不平行对传感器受到阶跃加速度信号作用时可靠工作条件的影响.得到了梳齿倾斜效应对传感器阶跃加速度响应影响的
【机 构】
：
中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室,杭州电子科技大学微电子CAD研究所
论文部分内容阅读
分析了梳齿电容式传感器在三种电容驱动方式下,梳齿电容极板的不平行对传感器受到阶跃加速度信号作用时可靠工作条件的影响.得到了梳齿倾斜效应对传感器阶跃加速度响应影响的分析模型.结果表明梳齿电容在同样的电压驱动下,若电容极板的倾斜角变到0.5°时,对于单边电容结构、双边电容结构和有力反馈的双边电容结构,传感器能够承受的临界阶跃加速度分别变为电容极板完全平行时的0.34、0.44、0.52.并针对DRIE工艺刻蚀梳齿的原理,讨论了改进梳齿不平行的方法.
其他文献
我们对环形激光陀螺输出信号进行了时频分析,采用Allan方差法对陀螺信号进行了分析与计算,应用混合滤波技术对陀螺信号进行了处理,并对滤波前后的陀螺测试数据进行了对比分析
基于微注塑成型中熔体充模流动理论，对微尺度下熔体与壁面间的传热系数对熔体充模流动影响进行了研究．在分析两相间传热机理的基础上，讨论了宏观尺度流道和微观尺度流道中传热系
5月18日，由中国天然橡胶协会、云南农垦、广东农垦和上期所共同举办的“第一届云南橡胶产业发展论坛”在昆明召开。云南省政府副秘书长孙涛，云南农垦集团总经理迟中华，广东省农
对实验室常用的太阳电池伏安特性测试方法进行改进，设计了一种利用计算机通用外设——声卡进行模拟信号的采集与A／D转换，并利用MATLAB软件进行数据处理与分析的太阳电池电流电压
基于E型膜片已设计出一种三轴线加速度计；此E型膜片的敏感弹性部分为圆环平膜片，对其应力应变特性的分析至关重要。考虑到E膜片的实际尺寸及测量时其变形较小，将E膜片变形作为薄
最近，刘敏和她的朋友也是同事王雷开了一间小型打印社。打印社主要经营打印业务．同时也卖一些与其相关的用品，比如光盘、软盘、鼠标、笔记本包等一些物品。刘敏因为参加工作多年
6月14日，巴陵石化完成的“充油溶聚丁苯橡胶脱挥技术开发”和“鞋用高耐磨高强力SBSYH-185新牌号开发”两科研项目，通过总部科技部组织的技术鉴定。这两个科研项目技术具有自知
2月16日晚上9时，宁远县大平镇单家村支部书记单继成因森林法规意识淡薄。非法组织村民砍伐该村“后龙山”山场的雪压杉木，被县森林公安分局依法刑事拘留．
经过3年多的联合科技攻关，西双版纳州天然橡胶加工技术获得重大突破，一条具有高附加值、经济效益好、绿色环保等优势，年产万吨的白炭黑／天然橡胶湿法混炼胶全自动生产线日前在曼
提出了一种传感器动态模型辩识新方法，给出了相应的辩识过程及学习算法。该方法采用支持向量机模型，与常规模型辩识方法比较，其优点是明显的。其采用了结构风险最小化准则，在最小