国外微小尺寸测量的问题简介

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一、前言微小尺寸测量是一个比较新的有待发展的领域,特别是在我国,情况更是如此。随着科学技术的发展,对微小尺寸的测量要求越来越迫切。很多相距很远的科学部门,从机械工业、电子工业到制药、医学和环境保护;从尖端科学的热核反应到日常生活中的化 I. INTRODUCTION The small size measurement is a relatively new area to be developed, especially in our country. With the development of science and technology, the measurement requirements of small size are more and more urgent. Many of the far-reaching science departments, from the mechanical industry, the electronics industry to pharmaceuticals, medicine and environmental protection; from cutting-edge scientific thermonuclear reactions to daily life
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