超窄带通光学薄膜滤光片及膜层厚度产生方法

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在目前的常规超窄带通光学薄膜滤光片制备中,人们都采用在2个1/4波片构造的高反射层间夹一薄层的设计方案。这一方案可以给出带宽非常窄的滤光片,但它对薄膜制备中每一层的厚度控制要求非常严格。然而,在实际制备中,由于膜层厚度的微小涨落会使滤光片的性能明显降低,或使得高性能滤光片的成品率大大下降。因此,实现半高宽窄、透过率高的优质超窄带通光学薄膜滤光片往往需要很高的成本。 In the current conventional ultra-narrow band pass optical thin-film filter preparation, people are used in the two 1/4-wave structure of the high reflection layer between the folder a thin layer of design. This solution gives a very narrow bandwidth filter, but it requires very tight control of the thickness of each layer in the preparation of the film. However, in practical preparation, the performance of the filter is significantly reduced due to the slight fluctuation of the thickness of the film, or the yield of the high-performance filter is greatly reduced. Therefore, to achieve high-width half-width, high transmittance of high-quality ultra-narrow bandpass optical thin-film filters often require high costs.
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