【摘 要】
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在电子材料中,最主要的要算微电子技术中所用的集成电路材料,因为这是电子计算机和通信的基础。集成电路发展十分迅速,要求制造工艺愈来愈精密。目前芯片材料主要是硅单晶。
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在电子材料中,最主要的要算微电子技术中所用的集成电路材料,因为这是电子计算机和通信的基础。集成电路发展十分迅速,要求制造工艺愈来愈精密。目前芯片材料主要是硅单晶。为了提高芯片的成品率,硅单晶的直径愈来愈大,将达200～250毫米
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