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基于积分腔输出光谱技术（ICOS）的痕量气体分析仪具有结构简单、维护方便、响应速度快、灵敏度高、测量精确等突出优势。在介绍ICOS基本原理的基础上，介绍了仪器的性能特点和组成结构。实验显示该仪器具有小于±1％的线性误差和长时问稳定性。检测下限在1000次内部平均时达到250ppb。
基于积分腔输出光谱技术的痕量气体分析仪
【摘 要】
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基于积分腔输出光谱技术（ICOS）的痕量气体分析仪具有结构简单、维护方便、响应速度快、灵敏度高、测量精确等突出优势。在介绍ICOS基本原理的基础上，介绍了仪器的性能特点和组成
【机 构】
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杭州电子科技大学电子信息学院,聚光科技有限公司
【出 处】
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化工自动化及仪表
【发表日期】
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2010年2期
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