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本文讨论了ＰＥＴＥＯＳ在金属层间介质（ＩＭＤ）上的运用，并就其运用于亚微米ＣＭＯＳ、双层金属工艺中所要求的一些电、机械及结构方面的特性进行了探讨研究。
双层金属工艺中的IMD—PETEOS
【摘 要】
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本文讨论了ＰＥＴＥＯＳ在金属层间介质（ＩＭＤ）上的运用，并就其运用于亚微米ＣＭＯＳ、双层金属工艺中所要求的一些电、机械及结构方面的特性进行了探讨研究。
【出 处】
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微电子技术
【发表日期】
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1995年6期
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