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采用直流磁控反应溅射制备了掺钼氧化锌透明导电薄膜。研究了掺钼氧化锌薄膜的结构、表面形貌及其光学和电学性能。原子力显微镜扫描显示薄膜表面较为平整致密。制备出的掺钼氧化锌薄膜最低电阻率为9．4× 10^-14Ω·cm，相应载流子迁移率为27．3cm2V^-1S^-1，载流子浓度为3．1×10^20cm^-1。在可见光区域的平均透射率大于85％，折射率（550hm）为1．853，消光系数为7．0× 10^-3.通过调节氧分压可以调节薄膜载流子浓度，禁带宽度随载流子浓度的增