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【摘 要】
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在匹配层结构压电换能器的基础上,通过对兆声压电振子的振动模式进行控制,在横向尺度上实现了兆声抛光工具头振动振幅的均匀化,进而开展了有/无兆声作用下硅片的化学机械抛光
【机 构】
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辽宁工业大学振动工程研究所,辽宁工业大学理学院,
【出 处】
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纳米技术与精密工程
【发表日期】
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2017年06期
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