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<正> 5.2溶胶—凝胶法沉积钛锆酸铅(PZT) 薄膜 溶胶-凝胶法是一种湿法化学沉积工艺。它采用热分解的方法,当溶液不停地被旋转并在火上加热时,能对溶液中适当的金属-有机前期生成物进行热分解。溶胶-凝胶法的基本优点是方法简单,化学计量可以控制,生产成本很低。被证明行之有效的基本生产工艺是在具有Ti/Pt电极的热氧化硅上沉积生长Si/SiO_2/Ti/Pt