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本工作尝试以掺硼乳胶源为扩散源,利用激光诱导扩散新技术,制备硅压力传感器的扩散电阻,探讨了激光诱导扩散的工艺条件,并从理论上讨论了实验结果。实验和分析都表明,使用这种杂质源和新的扩散技术扩散电阻,掺杂浓度均匀、P—N结横向漏电小、加工过程清洁,可以制备出性能良好的传感器的扩散电阻。
激光诱导扩散制备硅压力传感器的扩散电阻
【摘 要】
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本工作尝试以掺硼乳胶源为扩散源,利用激光诱导扩散新技术,制备硅压力传感器的扩散电阻,探讨了激光诱导扩散的工艺条件,并从理论上讨论了实验结果。实验和分析都表明,使用这
【机 构】
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河北大学电子系,河北大学电子系
【出 处】
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激光杂志
【发表日期】
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1989年5期
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