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本文研究了重掺杂对两步快速退火(RTA)形成的钛硅化物的影响及形成机理,认为,重掺杂有妨碍TiSi_2形成的作用,钛硅化物的形成过程由硅的扩散和硅化物的成核过程组成。
重掺杂对钛硅化物形成的影响
【摘 要】
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本文研究了重掺杂对两步快速退火(RTA)形成的钛硅化物的影响及形成机理,认为,重掺杂有妨碍TiSi_2形成的作用,钛硅化物的形成过程由硅的扩散和硅化物的成核过程组成。
【机 构】
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航空航天部骊山微电子学研究所,航空航天部骊山微电子学研究所陕西临潼,陕西临潼,陕西临潼
【出 处】
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微电子学与计算机
【发表日期】
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1992年2期
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