论文部分内容阅读
针对纳秒激光微加工的具体要求，设计了一种压电陶瓷的微位移工作台控制系统，它是由压电陶瓷、柔性铰链机构和DSP控制系统组成。基于TMS320VC33的DSP作为控制中心，主要用于对采集到的位移信号进行处理，通过PID算法控制微动平台的移动距离。将该微位移平台安装在纳秒激光微加工机上，与原系统配合进行加工，可以有效改善微结构加工的效果。