【摘 要】
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本文提出一种电子轰击镀膜的方法。该方法能在一些特殊零件上得到牢固性好的薄膜。并能控制蒸发分子来沉积在样品夹具上，较好的防止了蒸发分子束对蒸发室的污染。这种方法还可
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本文提出一种电子轰击镀膜的方法。该方法能在一些特殊零件上得到牢固性好的薄膜。并能控制蒸发分子来沉积在样品夹具上，较好的防止了蒸发分子束对蒸发室的污染。这种方法还可测量出蒸发过程中的沉积速率。
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