【摘 要】
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采用直流反应磁控溅射法,通过改变溅射时间在304钢空心管上溅射氮化钛薄膜。采用数字显微镜、显微硬度计、万能材料试验机分别对薄膜的微观组织、显微硬度和抗拉强度进行研究
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采用直流反应磁控溅射法,通过改变溅射时间在304钢空心管上溅射氮化钛薄膜。采用数字显微镜、显微硬度计、万能材料试验机分别对薄膜的微观组织、显微硬度和抗拉强度进行研究。结果表明:随时间的延长,晶粒生长越不均匀;显微硬度随时间延长由4892 HV上升到5666.5 HV,再降到4871 HV,薄膜的最大拉伸应力呈先增加再减小的趋势。
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