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本文从EEPROM的简单的理论入手，引入了EEPROM器件的可靠性的概念。从“点”：隧道氧化层的评估（QBD实验）──“线”（擦／写实验）──“面”（加速保持特性实验）全面综合评估了EEPROM的可靠性。从中得到要保证EEPROM的可靠性的关键是要尽量减少隧道氧化层中的可动电荷和缺陷密度，如此才能保证它的“擦／写”质量，改善它的保持和耐久特性。