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溶胶—凝胶法薄膜制备工艺及其应用
溶胶—凝胶法薄膜制备工艺及其应用
来源 :昆明理工大学学报:理工版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:pollyzhang15
【摘 要】
:
简要评述了近年来溶胶-凝胶薄膜制备工艺的最新进展及其应用。与传统的薄膜制备工艺相比,溶胶-凝胶薄膜制备工艺过程温度低、设备简单、易于应用推广,可以在各种形状的基体上制得
【作 者】
:
甘国友
郭玉忠
【机 构】
:
昆明理工大学材料工程系
【出 处】
:
昆明理工大学学报:理工版
【发表日期】
:
1997年1期
【关键词】
:
薄膜
溶胶-凝胶法
制备
工艺
氧化物薄膜
SolGel
film
technique
application
【基金项目】
:
云南省科委应用基金
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简要评述了近年来溶胶-凝胶薄膜制备工艺的最新进展及其应用。与传统的薄膜制备工艺相比,溶胶-凝胶薄膜制备工艺过程温度低、设备简单、易于应用推广,可以在各种形状的基体上制得多元氧化物等优点,溶胶-凝胶薄膜制备工艺已在电子、光学、磁学、化学等各个领域得到广泛应用。
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