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本文论述了微电子机械系统(MEMS)的内涵,分析了MEMS近年来的研究进展,以微型传感器微型执行器为例,探讨其设计思想,主要加工技术及应用前景.
微电子机械系统的进展与应用前景
【摘 要】
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本文论述了微电子机械系统(MEMS)的内涵,分析了MEMS近年来的研究进展,以微型传感器微型执行器为例,探讨其设计思想,主要加工技术及应用前景.
【机 构】
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信息产业部电子第十三研究所(石家庄)
【出 处】
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2001年全国电源技术应用研讨会,2001年全国电子元器件应用研讨会
【发表日期】
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2001年4期
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