不同[Cu]／[In]比例的CuInS2薄膜的特性

来源 :化学物理学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zengyuzhuo

【摘要】

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采用连续离了层吸附与反应方法存玻璃基板上按照不同[Cu]／[In]的比例制备了CuInS2薄膜，并在400℃退火30min．对薄膜的晶体结构和晶粒尺寸用X射线衍射方法进行厂表征，原予力显微镜

【作者】

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Mutlu Kundakcl

【机构】

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土耳其阿塔图尔克大学理学院物理系

【出处】

：

化学物理学报

【发表日期】

：

2010年5期

【关键词】

：

薄膜连续离子层吸附与反应方法黄铜矿类化合物 Thin filml Successive ionic layer adsorption Chalcopyri

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采用连续离了层吸附与反应方法存玻璃基板上按照不同[Cu]／[In]的比例制备了CuInS2薄膜，并在400℃退火30min．对薄膜的晶体结构和晶粒尺寸用X射线衍射方法进行厂表征，原予力显微镜测定薄膜的表面形貌．研究不同的[Cu]／[In]比例对薄膜光学和电学性能的影响．采用直流两探针法在300～470℃测定CuInS2薄膜的电阻率，随着[Cl]／[In]比例的增加，电阻率值越来越低，溶液中[Cu]／[In]的比例明显影响CulnS2薄膜的结构、电学和光学特性．

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