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采用磁控溅射法在石英衬底上制备N掺杂ZnO薄膜（ZnO：N）,随后进行了退火处理,研究了退火温度对ZnO：N薄膜结构和光学性质的影响。结果表明：所有ZnO：N薄膜均为纤锌矿结构;退火处理能改善薄膜的结晶质量,且能有效调控ZnO：N薄膜中间隙锌缺陷浓度,进而影响薄膜的光学带隙。
退火对N掺杂ZnO薄膜的结构和光学性质的影响
【摘 要】
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采用磁控溅射法在石英衬底上制备N掺杂ZnO薄膜（ZnO：N）,随后进行了退火处理,研究了退火温度对ZnO：N薄膜结构和光学性质的影响。结果表明：所有ZnO：N薄膜均为纤锌矿结构;退火处理能改
【机 构】
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重庆师范大学物理与电子工程学院
【出 处】
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科技创新与应用
【发表日期】
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2018年34期
【基金项目】
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重庆市大学生创新创业训练计划项目（编号：201610637077）的资助
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