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根据CV数据用数值模拟反求杂质浓度时,遇到了不确定性问题。本文认为这实际上是用CV数据反求杂质浓度时的非单值性问题。针对数值方法的非单值性问题,本文提出了逐点反求多次循环的算法。本算法已成功地应用于分布陡峻的高斯离子注入分布及矩形阶跃分布,反求的杂质浓度分布与理论杂质浓度分布符合得很好。
一种反求杂质浓度的数值方法—基于CV数据的逐点反...
【摘 要】
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根据CV数据用数值模拟反求杂质浓度时,遇到了不确定性问题。本文认为这实际上是用CV数据反求杂质浓度时的非单值性问题。针对数值方法的非单值性问题,本文提出了逐点反求多次
【机 构】
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贵州大学物理系,东南大学徽电子中心
【出 处】
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电子学报
【发表日期】
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1992年5期
【基金项目】
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贵州省科学技术基金
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