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蒸镀次序对Ｐｄ、Ｇｅ双层膜固态反应的影响陈志文，张庶元，谭舜，李凡庆，卢江，吴自勤（中国科技大学结果构分析开放研究实验室，中国科技大学基础物理中心，合肥２３００２６）本文研究了不同蒸镀次序Ｐｄ、Ｇｅ双层膜的固态反应行为。通过真空镀膜机在新解理的ＮａＣ...
蒸镀次序对Pd,Ge双层膜固态反应的影响
【摘 要】
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蒸镀次序对Ｐｄ、Ｇｅ双层膜固态反应的影响陈志文，张庶元，谭舜，李凡庆，卢江，吴自勤（中国科技大学结果构分析开放研究实验室，中国科技大学基础物理中心，合肥２３００２６）本文研究了不同蒸镀次序Ｐｄ、Ｇｅ双层膜的
【机 构】
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中国科技大学结果构分析开放研究实验室,中国科技大学基础物理中心
【出 处】
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电子显微学报
【发表日期】
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1994年6期
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