【摘 要】
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应用离子束辅助沉积技术，可使膜基结合强度大幅度提高；膜层致密，孔洞少，抗腐蚀性能和抗磨损性能强；具有工艺温度较低（２００℃），工艺参数易于掌握等优点。为轴承工作表面的改性提供了新的途
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应用离子束辅助沉积技术，可使膜基结合强度大幅度提高；膜层致密，孔洞少，抗腐蚀性能和抗磨损性能强；具有工艺温度较低（２００℃），工艺参数易于掌握等优点。为轴承工作表面的改性提供了新的途径。附图１幅，参考文献２９篇。
The application of ion beam assisted deposition technology can greatly improve the film-based bonding strength; dense film, less holes, corrosion resistance and wear resistance; with lower process temperature (200 ℃), easy to grasp the advantages of process parameters. For the modification of the bearing surface provides a new way. Figure 1, reference 29.
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