射频溅射掺氮TiO2薄膜的可见光吸收特性及亲水性能

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二氧化钛薄膜材料具有较好的光致催化和亲水特性,但其对可见光低的利用率极大地限制了应用。通过非金属掺杂可以有效提高其光催化性能。采用射频磁控溅射法,以Ar/N2为工作气体,在石英衬底上制备出了掺氮TiO2纳米薄膜,在氮气中经不同温度退火处理,用X射线衍射法(XRD)、X射线电子能谱线(XPS)、扫描电镜(SEM)和紫外可见(UV-vis)等方法对薄膜的结构、掺杂情况、表面特性和光吸收性能进行了分析。XRD结果显示在退火600 ℃下薄膜为锐钛矿结构;XPS分析表明氮原子已成功掺入TiO2中;SEM结果显示薄膜表面均匀平整,平均粒径约为30 nm;UV-vis结果发现,薄膜的光吸收边较未掺杂样品出现了显著红移,表明薄膜具有良好的可见光光催化活性。对薄膜进行了亲水性测试,可见光照射下,30 min后薄膜的水接触角即小于10°。
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