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以气-液-固（VLS）、气-固-固（VSS）、固-液-固（SLS）和氧化物辅助生长（OAG）机制为主线，着重介绍与评论了几种主要的Si纳米线的制备方法，如激光烧蚀沉积（LAD）、化学气相沉积（CVD）、热蒸发和金属（Au，Fe，Ni和Al）催化生长等．简要介绍了Si纳米线及其阵列在场效应晶体管、场发射器件、太阳电池、传感器以及集成电子器件等方面的应用．最后，讨论了各种制备方法的优势与不足，指出了该研究领域今后的发展方向．