【摘 要】
：
本文对反应离子束刻蚀及掩模转换技术作了研究,结果表明反应气体O_2或CF_4压力变化对 Au、Cr、Si、SiO_2、Al等各种材料的刻蚀率影响是不同的,金和铬的刻蚀率之比可达16,金和
【机 构】
：
中国科学院半导体研究所,中国科学院半导体研究所,中国科学院半导体研究所,中国科学院半导体研究所
论文部分内容阅读
本文对反应离子束刻蚀及掩模转换技术作了研究,结果表明反应气体O_2或CF_4压力变化对 Au、Cr、Si、SiO_2、Al等各种材料的刻蚀率影响是不同的,金和铬的刻蚀率之比可达16,金和铝的刻蚀率之比可达8.8.因此,反应离子束刻蚀和掩模转换技术已用来制造高深宽比的、精细的x射线金掩模图形.
In this paper, reactive ion beam etching and mask conversion techniques are studied. The results show that the influence of O_2 or CF_4 pressure on the etching rates of Au, Cr, Si, SiO_2, Al and other materials is different. Chromium etching rate of up to 16, gold and aluminum etch rate ratio of 8.8. Therefore, reactive ion beam etching and mask conversion technology has been used to create high aspect ratio, fine x-ray gold Mask pattern.
其他文献
集成运算放大器的噪声参数选用En-In来规定较好,采用正弦波发生器法可以实现器件En、In、N_F的快速测定。DYF-1型运算放大器低频噪声分析仪采用了锁相一同步检波方案。在低频
2)繁简字可类推字不光新旧字形的笔画数影响检字,繁体字和简化字的笔画数不同对检字的影响更大。1986年10月10日国家语言文字工作委员会重新发表了《简化字总表》,《简化字总
数字迭加是检测微弱信号的一项先进技术.对于重复出现的微弱信号,采用迭加技术能增强信号(降低噪声),使被“掩没”于噪声和干扰中的信号重新呈现出来.信号迭加的数学原理虽
化学实验是进行科学探究的主要方式,对化学课程目标的全面落实具有非常重要的作用。但在很多农村中学,化学实验教学的现状仍不尽如人意,并制约着教学改革的深入发展。本文指
近代科学研究的特点之一是更紧密地依靠实验。对实验工作者来说,除实验技木本身外,对实验中荻得的大量数据如何正确处理,是十分重要的一个方面。本书作者根据多年来的经验,
本文用一种简单计算证明了关于电流放大系数对温度的依赖关系,可以明显地受发射区和基区中的可动载流子的不同冻析速率和在这两个区域中的迁移率对温度的依赖关系的影响。由
国外出品了一种称为EM1502的新型高效率硒化镉光敏电阻,其阻值在五千分之一秒中可改变1兆欧.光谱灵敏度从5000到12000埃,因而不仅可用于红外光,也可以用于可见光,响应速度为
简介 这是一种具有数字角度输入信息的数-模转换器,把数字信息加到集成电路开关上,使R-2R电阻梯形网络发生预期的切换,从而能提供近似的正弦和余弦模拟电压函数,用以描
Int
音乐文论写作课程对于学校来说,是一门不可缺少的课程,发挥着重要的作用。但是大多数的音乐艺术院校,在音乐文论写作课程方面的建设并不是十分有效。许多学校、教师,甚至是学
在汉语史上,有些词语并不是从一开始就是一个组合而被人们使用的,有可能是这个字表示一种意思,另一个字表示另外一些意思,而这两个字组合在一起又变成了第三种意思。随着被人