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当需要用到极高精度的运动控制时，譬如需要在用于制造关键尺寸仅为几十纳米级的集成电路的精确线性编码器上标记基准点时，气温变化往往被认为是最严重的问题。这些编码器必须达到皮米（微微米）级的精度。
凡事皆须校准
【摘 要】
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当需要用到极高精度的运动控制时，譬如需要在用于制造关键尺寸仅为几十纳米级的集成电路的精确线性编码器上标记基准点时，气温变化往往被认为是最严重的问题。这些编码器必须达
【出 处】
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软件
【发表日期】
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2009年6期
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