【摘 要】
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采用溶胶-凝胶法,以离子液体为辅助溶剂,在玻璃衬底上制备了ZnO∶Al（ZAO）薄膜。通过X-射线衍射（XRD）、场发射扫描电镜（FE-SEM）、紫外-可见分光光度计（UV-Vis）和霍尔效应等测试手段,分
【机 构】
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山东大学材料液固结构演变与加工教育部重点实验室,山东大学材料科学与工程学院
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采用溶胶-凝胶法,以离子液体为辅助溶剂,在玻璃衬底上制备了ZnO∶Al（ZAO）薄膜。通过X-射线衍射（XRD）、场发射扫描电镜（FE-SEM）、紫外-可见分光光度计（UV-Vis）和霍尔效应等测试手段,分析了不同Al掺杂浓度ZAO薄膜的微观结构、光学和电学性能。结果表明,所制备的薄膜为非（002）取向的多晶膜。随着Al离子掺杂浓度的提高,薄膜的（002）晶面取向增强,晶粒逐渐由片状向球形转变,电阻率先降低后升高。进一步研究发现,在还原气氛NH3下退火可显著降低薄膜的电阻率,Al掺杂浓度为1 mol%时,
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