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三极反应溅射具有设备简单，工艺简便，镀层致密等特点。本文介绍了三板反应溅射设备原理，制备ＴｉＮ，ＴｉＣ，Ｔｉ（ＣＮ），ＴｉＡｌＮ，ＣｒＮ等超硬镀层的工艺和应用情况。对镀层结合力学的影响因素和对策进行了讨论。
三级反应溅射超硬镀层工艺及其应用
【摘 要】
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三极反应溅射具有设备简单，工艺简便，镀层致密等特点。本文介绍了三板反应溅射设备原理，制备ＴｉＮ，ＴｉＣ，Ｔｉ（ＣＮ），ＴｉＡｌＮ，ＣｒＮ等超硬镀层的工艺和应用情况。对镀层结合力学的影响因素和对策进行了讨论。
【机 构】
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上海市机械制造工艺研究所
【出 处】
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热处理
【发表日期】
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1999年1期
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