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本文设计了一种采用表面工艺的微硅隧道加速度变送器,其参数经有限元分析优化,并采用了平头隧道电极,变送器的控制采用"力平衡”方式.设计时重点考虑和成熟工艺的兼容性,其全部微细结构加工都只在硅片的一个表面上进行,无需进行后续组装.
微硅隧道加速度变送器的优化设计
【摘 要】
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本文设计了一种采用表面工艺的微硅隧道加速度变送器,其参数经有限元分析优化,并采用了平头隧道电极,变送器的控制采用"力平衡”方式.设计时重点考虑和成熟工艺的兼容性,其全
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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2001年z2期
【基金项目】
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国家自然科学基金项目 (598750 52 )
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