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本文分析了全能谱多元素Ｘ荧光分析的原理，对多元素能谱重叠用提出的解谱数学模型进行分离，提高了被测元素能谱的分辨率。采用计算机技术，通过增益自动控制，对能谱漂移进行自校正，提高了仪器的稳定性。测量样品中多元素的荧光强度，由元素含量模型进行基体效应校正，提高了仪器的测量精度。由于采取这些措施，使这类仪器的性能有了较大提高。