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分析了一种同轴式激光轮廓测量系统的工作原理,开发出了一套基于WINDOWS的测量控制软件,使它具有自动控制、数据采集、信息处理及结果输出等功能,可以用三维图形直观显示被测量物体表面微观形貌、进行多种表面粗糙度参数计算.此测量系统的分辨力优于0.1 nm,重复性2σ优于1.2 nm.
一种亚纳米级分辨力同轴式激光轮廓测量系统
【摘 要】
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分析了一种同轴式激光轮廓测量系统的工作原理,开发出了一套基于WINDOWS的测量控制软件,使它具有自动控制、数据采集、信息处理及结果输出等功能,可以用三维图形直观显示被测
【机 构】
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四川大学
【出 处】
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四川大学学报(工程科学版)
【发表日期】
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2003年1期
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