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据称，由光纤嵌入晶片而制成的集成光路能用来制成湿度传感器。日本大阪大学的Sueda教授等在试用铌酸锂晶片的基础上制成这种湿度传感器，能用干测量气体的压强和流速。由于传感器釆用光操作，具有光学系统的所有优点，如无因短路而产生电火花的危险，可在化工厂之类的地方使用。试制的传感器包含一嵌入晶片的波导，波导分成两路，最终又在远端汇合。输入波导的光束一般分成两路，两者所处的条件相同。一旦两光路出现温差，则光的传输条件就会不同，由此在两光路中产生相差，两束光汇合就会因干涉而引起输出光强变化。