【摘 要】
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针对恶劣环境表面温度测试需求,设计了一种基于微波后向散射原理的无线无源薄膜温度传感器。该传感器是金属贴片型的＂三明治＂结构,由HTCC氧化锆陶瓷和Ag金属层制备而成。采用耐
【机 构】
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中北大学仪器与电子学院、电子测试技术国防科技重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金项目（61471324,51425505）, 山西省“1331”工程重点学科建设计划项目
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针对恶劣环境表面温度测试需求,设计了一种基于微波后向散射原理的无线无源薄膜温度传感器。该传感器是金属贴片型的＂三明治＂结构,由HTCC氧化锆陶瓷和Ag金属层制备而成。采用耐高温微带天线进行测试,通过网络分析仪读取回波损耗和频率的关系,得出其谐振频率随温度升高而减小,是由氧化锆温度敏感介质的介电常数随温度升高而增大引起的,完成了感器在50℃~700℃的高温测试,平均灵敏度为96.63 kHz/℃,具有高Q值、外形小巧、结构简单的特点。
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