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现采用微波等离子体炬法合成了金刚石薄膜,并探讨了微波功率变化对对金刚石膜质量的影响。结果表明：随着微波功率的增加,制备的金刚石薄膜结晶性越来越好;通过拉曼分析在微波功率800W,发现在1332cm-1处金刚石峰的相对强度最高,金刚石相纯度最高。
微波等离子体炬法合成金刚石薄膜的研究
【摘 要】
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现采用微波等离子体炬法合成了金刚石薄膜,并探讨了微波功率变化对对金刚石膜质量的影响。结果表明：随着微波功率的增加,制备的金刚石薄膜结晶性越来越好;通过拉曼分析在微波
【机 构】
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四川省非金属复合与功能材料重点实验室-省部共建国家重点实验室培育基地
【出 处】
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科技创新与应用
【发表日期】
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2013年7期
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