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从非晶硅太阳电池在弱光条件下工作机理的特点出发,研究了不同工艺条件对电池特性参数的影响,介绍了自主研制的先进的线列式分室连续 PECVD 系统及工艺技术,分析了在该设备上制造出的高质量弱光非晶硅太阳电池的性能.实验结果表明,该工艺技术能够有效提高太阳电池性能质量.
线列式分室连续PECVD系统制备弱光非晶硅太阳电池的研究
【摘 要】
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从非晶硅太阳电池在弱光条件下工作机理的特点出发,研究了不同工艺条件对电池特性参数的影响,介绍了自主研制的先进的线列式分室连续 PECVD 系统及工艺技术,分析了在该设备上
【机 构】
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南开大学光电子薄膜器件与技术研究所
【出 处】
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南开大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2007年06期
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