论文部分内容阅读
出现于20世纪80年代后期的微机械技术可以制作出微米尺度的传感器和执行器。这些微器件与信号调节和处理电路集成后，组成了可执行分布式实时控制的微电子机械系统（MEMS）。这种性能为流动控制研究开辟了一个崭新的研究领域。利用MEMS技术设计和制作了一种传感器和一种执行器。实验证明，采用体硅腐蚀的工艺制作微流体器件是可行的，同时可以避免牺牲层腐蚀和释放的复杂工艺。