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国家光电子工艺中心的纳米技术研究葛璜，胡雄伟，王圩（国家光电子工艺中心，中国科学院半导体研究所）０引言下一代光电子器件是量子效应光电子器件，这就需要控制良好的纳米加工技术。国家光电子工艺中心（ＮＣＯＴ）以研究下一代量子效应光电子器件为主要目标，开展了...
国家光电子工艺中心的纳米技术研究
【摘 要】
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国家光电子工艺中心的纳米技术研究葛璜，胡雄伟，王圩（国家光电子工艺中心，中国科学院半导体研究所）０引言下一代光电子器件是量子效应光电子器件，这就需要控制良好的纳米加工技术。国
【机 构】
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国家光电子工艺中心,中国科学院半导体研究所
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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1996年S1期
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