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【摘 要】
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本文利用非平衡磁控溅射技术，通过改变薄膜沉积时氮气和氩气分压比（PN／PAr）和靶基距，在Si（100）和钛合金（Ti6A14V）基体上制备了氮化钛薄膜。利用X射线衍射（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）、HXD-
【机 构】
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西南交通大学材料科学与工程学院
【出 处】
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真空科学与技术学报
【发表日期】
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2006年5期
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