【摘 要】
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综述了负温度系数（NTC）热敏薄膜目前最常用的四种制备工艺，即：蒸发法（evaporation），磁控溅射法（magnetron sputtering），脉冲激光沉积法（PLD）和金属有机物热分解法（MOD），分析了这几种工艺的优
【机 构】
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电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
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综述了负温度系数（NTC）热敏薄膜目前最常用的四种制备工艺，即：蒸发法（evaporation），磁控溅射法（magnetron sputtering），脉冲激光沉积法（PLD）和金属有机物热分解法（MOD），分析了这几种工艺的优缺点及国外的研究进展。并简要介绍了NTC热敏薄膜在传感器等方面的应用和发展前景。
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