Influence of Annealing on Properties of ZnO Films Grown via Plasma－enhanced MOCVD

来源 :高等学校化学研究：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yangy1225

【摘要】

：

The structural and the optical properties of ZnO films with high quality grown via plasma-enhanced metal-organic chemical vapour deposition(MOCVD) on C-plane sa

【作者】

：

ZHAOBai-jun DUGuo-tong YANGHon

【机构】

：

CollegeofElectronicsandEngineering

【出处】

：

高等学校化学研究：英文版

【发表日期】

：

2003年4期

【关键词】

：

电磁感应退火性质 ZnO 等离子体增强 MOCVD 兰宝石基层氧化锌金属有机化学蒸汽沉积作用 Plasma-enhanced MOCVD Sapp

【基金项目】

：

国家自然科学基金，国家高技术研究发展计划(863计划)

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