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计算机模拟被用于为 Czochralski (CZ ) 硅水晶生长优化一个热地区。加热器结构和热盾材料被调查。与这个优化热地区， crystal/melt 接口附近的温度坡度增加了， CZ 水晶能以更快的率被种。它是为节省电源消费的大贡献。
Simulation aided hot zone design for faster growth of CZ silicon mono crystals
【摘 要】
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计算机模拟被用于为 Czochralski (CZ ) 硅水晶生长优化一个热地区。加热器结构和热盾材料被调查。与这个优化热地区， crystal/melt 接口附近的温度坡度增加了， CZ 水晶能以更
【机 构】
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TheStateKeyLaboratoryofFluidPowerTransmissionandControl,GRINMSemiconductorMaterialsCo.Ltd
【出 处】
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稀有金属：英文版
【发表日期】
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2011年2期
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